美国BROOKS流量计GF100 系列金属密封热式质量流量控制器和仪表

高纯度流路。卓越的性能、可靠性和可重复性。
型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
快速响应、可重复地输送高纯度和超高纯度的工艺气体——这就是 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表所提供的性能。GF100 系列专为半导体、MOCVD 和其他气体流量控制应用而设计，其可靠性超过了半导体行业标准，确保了可重复的、高度稳定的性能。标准 MultiFlo TM技术使一台 MFC 能够支持数千种气体类型和范围组合，而无需将其从气体管线中移除或影响准确性。

结果：提高了工艺灵活性和效率，并结合了行业最高水平的工艺气体纯度，有助于最大限度地提高产量和生产力。

美国BROOKS流量计GF100特征

每年<±0.5%满量程的长期零稳定性
稳定时间：300 ms - <700 ms 或 700 ms - <1 秒
满量程流量高达 300 slpm
全金属密封流路：可选 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面光洁度
耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器提高了高温下的测量重现性 
MultiFlo TM气体和量程可编程性——一个设备，数千种气体类型和量程组合，无需从气体管路中移除 MFC 或影响精度
本地显示
可选的 SDS 气体输送
DeviceNet TM , RS-485 L-Protocol 和模拟接口

美国BROOKS流量计GF100好处

高性能组件经过七倍半导体行业标准的可靠性测试
全金属耐腐蚀流路，减少表面积和未扫过体积，确保在吹扫步骤中更快干燥
使用 MultiFlo TM，可以在 60 秒内设置新的工艺气体和/或范围——不再需要移除和校准 MFC
高度可配置的平台可以直接替换和升级大多数品牌的金属密封 MFC，包括以前的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌
GF120 安全输送系统 (SDS®) 是 Brooks 最先进的低压降质量流量控制器，用于输送植入和蚀刻工艺中使用的低于大气压的安全输送系统 (SDS) 气体
方便的用户显示和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除

美国BROOKS流量计GF100应用

半导体蚀刻工具
薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理气相沉积 (PVD) 系统
外延工艺系统

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