美国BROOKS流量计GP系列高纯度和超高纯度气体质量流量控制器和仪表
挑战：最大化工具正常运行时间和生产力
质量流量控制器的可靠性和多功能性能是许多半导体工艺工具的基础。流程工具只有在启动和运行时才能获得数百万美元的投资回报；如果 MFC 偏离关键设定点，或者新的制造工艺需要多种气体（和多个 MFC），则转换和/或重新校准或维修的停机时间会增加。
解决方案：支持高级 MultiFlo ®的 GF 系列 MFC
以超高纯度准确、可重复地输送工艺气体——这就是 GF 系列金属密封质量流量控制器和仪表所提供的性能。GF 系列已通过七倍于半导体行业标准的可靠性测试。全金属流路和耐腐蚀 Hastelloy® 传感器确保最高水平的气体纯度和无水分流动。独特的可编程 MultiFlo® 技术使一个 MFC 能够支持数千种气体类型和范围组合。
结果：提高了工艺灵活性和效率，并结合了行业最高水平的工艺气体纯度，有助于最大限度地提高产量和生产力。
美国BROOKS流量计GP系列
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产品 |
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美国BROOKS流量计GP100EtherCAT系列 |
美国BROOKS流量计GP100系列 |
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产品类别 |
质量流量控制器 |
质量流量控制器 |
质量流量控制器 |
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微分器 |
完全压力不敏感的 P-MFC
在最广泛的操作条件下提供最精确的工艺气体输送
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EtherCAT 通讯
高纯度/超高纯度
嵌入式诊断
超稳定的流量传感器
改进的阀门关闭
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高纯度/超高纯度
标准GF系列
高流量GF系列
超快响应时间
压力瞬态不敏感
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密封材料 |
金属 |
金属 |
金属 |
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纯度水平/表面光洁度 |
3 sccm - 50,000 sccm |
标准 GF 系列：3 sccm - 55 slm
高流量 GF 系列：55 slm - 300 slm
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标准 GF 系列：3 sccm - 55 slpm
高流量 GF 系列：55 slpm - 300 slpm
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准确性 |
零泄漏阀
<± 1% SP (5-100% FS)
<± 0.05% FS (0.5-5% FS)
金属密封阀
<± 1% SP (5-100% FS)
<± 0.05% FS (2-5% FS)
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标准GF系列：±1% SP > 20-100%；±0.2% 满量程 2-20%
高流量 GF 系列：±1% SP > 35-100%；±0.35% 满量程 2-35%
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±1% SP > 35-100%
±0.35% 满量程 2-35%
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最大压力 |
150 磅/平方英寸 |
标准 GF 系列：最大 500 psia
高流量 GF 系列：75 psig（控制器），150 psig（米）
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标准 GF 系列：最大 500 psia
高流量 GF 系列：75 psig（控制器），150 psig（米）
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最高温度 |
60摄氏度_ |
50摄氏度_ |
50摄氏度_ |
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模拟通信 |
0-5 伏直流电 |
- |
0-5 伏直流电 |
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数字通信 |
DeviceNet™
EtherCAT®
RS-485 L 协议
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EtherCAT® |
DeviceNet™
RS485 L-协议
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