最快、最准确的 MFC
以美国BROOKS流量计-GP100EtherCAT的速度增强
型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
半导体工艺的完美性能
嵌入式诊断利用实时EtherCAT®数据采集功能
超稳定的流量传感器（每年 ≤ 0.15% 的 SP 漂移）可实现更严格的低设定点精度并降低维护要求
改进的阀门关闭（≤ 0.15% 的 bin 范围）减少阀门泄漏以减少第一晶圆效应
新增强的压力瞬态不敏感性降低了串扰敏感性，以实现一致的质量流量输送
美国BROOKS流量计-GP100EtherCAT特征
每年<±0.15%满量程的长期零稳定性
稳定时间：300 ms - <1 秒
满量程流量高达 300 slpm
全金属密封流路：可选 5µ 或 10µ 英寸 Ra 表面光洁度
耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器提高了高温下的测量重现性
MultiFlo TM气体和量程可编程性——一个设备，数千种气体类型和量程组合，无需从气体管路中移除 MFC 或影响精度
方便的用户显示和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除
GF120 安全输送系统 (SDS®) 是 Brooks 最先进的低压降质量流量控制器，用于输送植入和蚀刻工艺中使用的低于大气压的安全输送系统 (SDS) 气体
美国BROOKS流量计-GP100EtherCAT好处
卓越的性能
快速反应时间提高应用效率
灵活的拓扑
几乎无限的网络拓扑可能
简单而强大
配置、诊断和维护
负担能力
标准以太网端口
美国BROOKS流量计-GP100EtherCAT应用
半导体蚀刻工具
薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理气相沉积 (PVD) 系统
外延工艺系统
参数