金属密封压力控制器产品介绍
PC100 系列压力控制器和仪表结合了许多高性能技术特性，为要求苛刻的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供新水平的压力控制精度和可靠性。
PC100 系列以久经考验的 Brooks GF100 质量流量控制器技术为基础，具有高纯度全金属流路、专为消除传感器漂移而设计的增强型传感器技术，以及用户界面和设备诊断功能，使操作设备变得更加容易评估和故障排除，从而减少服务中断并减少停机时间。
特征
响应时间：<1 秒
满量程流量高达 10 slm
传感器压力范围：1000 Torr FS
全金属密封流路：5µ 英寸 Ra 表面光洁度
带有嵌入式流量计的 PC125 包括一个高度耐腐蚀的 Hastelloy® C-22 流量传感器与高速 ARM 处理器相结合
快速作用无隔膜阀组件
高可见度 LCD 显示屏，带有易于操作的按钮，用于本地显示流量、温度和网络地址
独立诊断/服务端口
DeviceNet™ 协议
好处
高性能组件可实现快速响应和设置时间，以改善压力控制
减少分流的气体消耗和相关的减排成本
全金属、耐腐蚀、符合 SEMI F20 标准的湿式流路，具有整体减小的表面积和未扫过的体积，可确保在吹扫步骤期间更快地干燥
长期热或压力传感器设备稳定性最大化产量和吞吐量
用户可编程启动功能，适用于需要缓慢上升压力控制的过程
应用
半导体先进蚀刻工具
薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理气相沉积 (PVD) 系统