美国BROOKS流量计-SLA7840金属密封压力控制器和流量计-高纯度流路，卓越的可重复性、稳定性和响应时间
型号 SLA7840
Brooks 型号 SLA7840 是一种高纯度金属密封仪器，可在测量流量的同时控制压力。远程压力传感器信号，以及可调节的集成 PID 控制电子设备和共面控制阀，可保持所需的设定压力。与其他金属密封控制器相比，共面阀降低了对压力变化的敏感性，并提供了更低的泄漏率，确保了随着时间的推移更稳定的过程。
特征
一体式压力传感器
响应时间：<1 秒
宽流量测量范围，满量程流量从 0 - 3 sccm 到 0 - 30,000 sccm
最大压力 500 psig
全金属密封流路：32µ 英寸 Ra 最大表面光洁度
共面阀提供更低的泄漏率
多气体/多量程功能允许在单个设备上存储和预编程多达 10 个气体校准和量程
DeviceNet® 和模拟通信选项
好处
更大的共面阀门控制范围降低了对过程中压力变化的敏感性，确保随着时间的推移更稳定的过程
全金属润湿流路，以保持无颗粒、无水分和无污染的工艺条件
设备也可以配置为质量流量控制器，用于校准或测试目的
多气体/多范围能力减少库存
共面阀提供更大的控制范围，减少了控制过程所需的零件数量
紧凑、节省空间的占地面积易于改装
数字通信提供了简单的调试和减少系统接线