美国BROOKS流量计汇总-弹性体密封热气体质量流量控制器和仪表
发布日期：2022-08-11 16:41:20
美国BROOKS流量计汇总-弹性体密封热气体质量流量控制器和仪表
经验证的灵活性，可满足各种质量流量需求。
我们的弹性体密封质量流量计和控制器将您的过程所需的准确性、可靠性和可重复性与提供精确性能和长期稳定性的经济高效的仪器相结合。结果：您将最大化您的运营所需的价值和投资回报。
主要应用
实验室和分析系统
生命科学生物反应器
薄膜气相沉积
热处理、切割和其他热处理工艺
真空应用
选择最能满足您的工艺要求的质量流量设备。
产品
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美国BROOKS流量计SLA系列 |
美国BROOKS流量计GF40系列 |
5850E 和 i 系列 |
美国BROOKS流量计SLAMf系列 |
美国BROOKS流量计4800 系列 |
5700 系列 |
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产品类别 |
质量流量控制器 |
质量流量控制器 |
质量流量控制器 |
质量流量控制器 |
质量流量控制器 |
质量流量计 |
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微分器 |
宽流量和压力范围
卓越的长期稳定性
高准确率
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高准确率
MultiFlo™ 能力
紧凑的尺寸
适用于全套气体
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经验证的可靠性能
长期稳定性
易于在现场更改范围和重新校准
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NEMA 4X/IP66 认证外壳
非常适合软管冲洗/冲洗应用
危险区域批准
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超快的响应时间
可选的本地操作员界面
紧凑的尺寸
适用于非腐蚀性气体
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经济
紧凑
体积设备的理想升级
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流量范围（满量程） |
.003 - 2500 slpm |
3 sccm - 50 slpm |
0 - 1000 升/分钟 |
.003 - 2500 slpm |
50 sccm - 40 slpm |
0 - 50 升/分钟 |
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密封材料 |
弹性体密封 |
弹性体密封 |
弹性体密封 |
弹性体密封 |
弹性体密封 |
不锈钢 |
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最大压力 |
17025 认证设备（包括线性度，不包括校准系统测量不确定度，根据 SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% FS (<20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6%
标准设备（包括来自参考标准的不确定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% FS (2-20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：±1.0% FS
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SP 35-100% 的 1%，FS 2-35% 的 0.35% |
FS 的 1%
1.5% FS > 20 slpm
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17025 认证设备（包括线性度，不包括校准系统测量不确定度，根据 SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% FS (<20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6%
标准设备（包括来自参考标准的不确定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% FS (2-20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：±1.0% FS
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FS 的 3.0%
FS 的 1.0%（可选）
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FS 的 5%，包括线性度 |
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重复性 |
0.20% SP |
0.20% SP |
费率的 0.25% |
0.20% SP |
0.15% FS |
0.15% FS |
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多气体和范围可配置性 |
标准 |
MultiFlo™ 可用 |
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标准 |
- |
- |
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诊断能力 |
可用的 |
可用的 |
- |
可用的 |
可用的 |
- |
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模拟通信 |
0-5 V、1-5 V、0-10 V、0-20 mA、4-20 mA |
0-5 伏、0-10 伏
0-20 毫安、4-20 毫安
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0-5 伏直流
0-20 毫安
4-20 毫安
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0-5 V、1-5 V、0-10 V、0-20 mA、4-20 mA |
0-5 伏直流
4-20 毫安
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0-5 V 到 1000 欧姆或更大 |
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数字通信 |
DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATION TM现场总线
Profibus®
PROFINET
RS-485
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DeviceNet TM
EtherCAT®
Profibus®
RS485
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DeviceNet™
EtherNet/IP™
FOUNDATION TM现场总线
Profibus®
PROFINET
RS-485
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RS232 |
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尺寸 |
中等的 |
袖珍的 |
中等的 |
大的 |
袖珍的 |
袖珍的 |
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认证/批准 |
ISO/IEC 17025:2005
CE：EMC 指令 2014/30/EU
指令 2011/65/EU
UL（认可）： I 类，2 区
，A、B、C、D
类 I 类，2 区，IIC T4
II 类，22 区
ATEX：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
IECEx：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
KOSHA: Ex nA IIC T4
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CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
安全 EN61010-1
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ISO/IEC 17025:2005
CE： EMC、RoHs、PED
UL 列名/认可：
1 类，2 区，A、B、C、D 组
1 类，2 区，IIC T4，II 类，22 区
防爆：
II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
II 3 D Ex tc IIIC T 85°C 直流
IECEx：
Ex nA IIC T4 Gc
Ex tc IIIC T 85°C 直流
科沙：
Ex nA IIC T4
Ex tc IIIC T85°C 直流
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ATEX 2 区
CSA Div 2/Zone 2（已识别）
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SLA系列
GF40系列
5850E 和 i 系列
SLAMf系列
4800 系列
5700 系列