美国BROOKS流量计-SLA5800系列弹性体密封热质量流量控制器和仪表介绍
型号 SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863 推进并简化您的质量流量控制。
想象一下，只选择一个质量流量控制器平台来处理进入单个过程的十四种不同的压力或流量。同时在另一侧提供完全相同、超精确和可重复的输出。这就是您使用 SLA5800 系列数字质量流量控制器和仪表所获得的高级简单性。
SLA5800 系列具有质量流量测量和控制技术行业领导者所期望的高精度、高零位稳定性和高重复性。SLA5800 数字 MFC 采用卓越的设计和先进的计量和测试系统制造，提供比竞争产品更好的零漂移规范。SLA5800 已被证明可以最大限度地延长生产正常运行时间并降低维护和机器停机成本。
特征
ISO/IEC 17025 认证
SLA 系列生物技术MFC提供两个选项包，具有专门为提高生物工艺性能而创建的功能。查看哪个软件包适合您的流程。
每年<0.2%满量程的长期零稳定性
可追溯的校准标准支持卓越的准确性
流量额定值范围广 - 从 0.003 到 2500 lpm
最高压力等级 - 高达 1500 psi/100 bar（可选：4500 psi/310 bar）
可编程多气体/多量程功能
独立且易于访问的诊断/服务端口
广泛的可用通信选项现在包括EtherNetIP™和PROFINET，它们具有基于 Web 的界面，可让您轻松配置网络设置。
模块化设计易于在工厂或现场维护
好处
提供ISO/IEC 17025认证和校准，流量精度为 SP 的 ±0.6%
MFC 气流（湿路）中的所有弹性材料（包括SLA 系列生物技术MFC提供的阀座和 O 形圈）的增强型阀门关闭、宽量程比、认证和批准（USP Class VI/ADI-free）
传感器的长期稳定性降低了维护和定期重新校准的要求，从而降低了总拥有成本
专有的 Brooks Instrument 热传感技术可提供出色的信噪比性能，以提高低设定点的准确度
为不同的气体和流量范围选择一种设备平台
多达六种气体校准的存储和预编程使用户可以在单个设备上轻松切换不同气体和范围，并减少库存
用户可访问的服务端口简化了安装、故障排除和诊断任务，而不会干扰流量控制器的操作
耐用、坚固的金属顶盖可防止安装过程中损坏
EtherNet/IP™和PROFINET允许在质量流量控制器单独提供的诊断之外进行多种附加诊断，为用户提供丰富的实时系统信息
符合行业标准和法规要求的可追溯校准
应用
生命科学
化学和石化催化剂研究和中试工艺
实验室和分析系统
燃料电池技术
产品类别质量流量控制器
微分器
宽流量和压力范围
卓越的长期稳定性
高准确率
表现
流量范围（满量程）.003 - 2500 slpm
准确性
17025 认证设备（包括线性度，不包括校准系统测量不确定度，根据 SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% FS (<20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6%
标准设备（包括来自参考标准的不确定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% FS (2-20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：±1.0% FS
重复性
0.20% SP
线性度
包含在准确性中
响应时间
0.003 - 100 slpm：<1 秒
100 - 2500 slpm：<3 秒
多气体和范围可配置性
标准
最大压力
.003-200 slpm：1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm：1000 psi/70 bar
50 slpm max 设备上的可选 4500 psi/310 bar
控制范围
1-50 slpm：FS 调节比为 100:1
50-2500 lpm：FS 调节比为 50:1
零稳定性
< 0.2% FS 每年
流动温度系数
零：<0.05% FS per o C
跨度：<0.1% SP per o C
压力系数
0.03% 每 psi (0-200 psi N 2 )
态度敏感度
重新调零后与指定精度的最大偏差 <0.2% FS
收视率
最高温度65摄氏度_
差压范围
控制器
.003 - 50 lpm：5 psi / 0.35 bar
50 - 100 lpm：10 psi / 0.69 bar
500 lpm：7.5 psi / 0.52 bar
1000 lpm：14.5 psi / 1.00 bar
2500 lpm：35.0 psi / 2.41 bar
泄漏完整性1x10 -9 atm cc/sec He
机械的
密封材料弹性体密封
接液材料
316L不锈钢
高合金不锈钢
Viton® 氟橡胶
丁腈橡胶
Kalrez®
铁氟龙®/Kalrez®
三元乙丙橡胶
阀门选项
常闭
常开
仪表（无阀门）
诊断
诊断能力可用的
状态灯
MFC 运行状况、网络状态
警报
传感器输出
控制阀输出
过温
电源浪涌/骤降
网络中断
诊断/服务端口RS485 通过 2.5 毫米插孔
电气
模拟通信
0-5 V、1-5 V、0-10 V、0-20 mA、4-20 mA
数字通信DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATION TM现场总线
Profibus®
PROFINET
RS-485
电气连接
DeviceNet™：1xM12，带螺纹连接螺母 (B)
EtherCAT®、EtherNet/IP™：1x5 针 M8，带螺纹耦合螺母/2xRJ45
Profibus®：1x15 针公 Sub-D/1x9 针母 Sub-D
RS485：1 x 15 针公 Sub-D，(A)
电源/消耗
模拟 / Profibus® / RS-485
阀口 > 0.032"：8 瓦
阀孔 ≤ 0.032"：5 瓦
不带阀门：2 瓦
DeviceNet™ / EtherNet/IP™
阀口 > 0.032"：10 瓦
阀孔 ≤ 0.032"：7 瓦
不带阀门：4 瓦 (DeviceNet™)、3 瓦 (EtherNet/IP™)
EtherCAT®
阀口 > 0.032"：8.5 瓦
阀孔 ≤ 0.032"：5.5 瓦
不带阀门：2.5 瓦
遵守
认证/批准
ISO/IEC 17025:2005
CE：EMC 指令 2014/30/EU
指令 2011/65/EU
UL（认可）： I 类，2 区
，A、B、C、D
类 I 类，2 区，IIC T4
II 类，22 区
ATEX：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
IECEx：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
KOSHA: Ex nA IIC T4
环境合规
RoHS 指令 (2011/65/EU)
REACH 指令 EC 1907/2006
尺寸中等的