美国BROOKS流量计-质量流量控制器和仪表汇总
质量流量控制技术。无与伦比的工艺精度。
要真正控制任何过程，您必须精确测量正在发生的事情——在进料线、腔室中，在每个点——然后实时使用该信息来保持过程精确地达到目标并保持生产效率。
作为精密流体测量和控制领域的全球领导者，质量流量计制造商 Brooks Instrument 不断创新热式质量流量技术。从热流量传感器和质量流量计系统，我们不断推出新产品并增强现有系统，以将热质量流量测量精度、响应性、准确性和可重复性提升到新的水平。
我们的质量流量传感器在全球范围内使用最广泛的主要原因包括：
业界最佳的数字质量流量计和其他产品系列，可满足最广泛的应用需求
MultiFlo™ 技术允许一台设备更改气体类型和范围，而无需将设备从系统中移除并提高实际过程气体的准确性。MultiFlo™ 可与热质量或流量传感器一起使用
完整的产品范围包括用于热式质量流量传感器和科里奥利质量流量传感器的弹性体密封和金属密封选项
为满足薄膜、半导体和其他高科技行业要求而设计的超高纯度质量流量传感器和设备
主要应用
质量流量传感器的热处理、切割和其他热处理工艺
半导体和 LED 生产工具
薄膜沉积系统
生物制药生物反应器
石化和化学气体和液体中试装置
吹扫气体、过程分析和分析流量测量
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美国BROOKS流量计-弹性体密封热 |
美国BROOKS流量计-金属密封 |
美国BROOKS流量计-高温热 |
美国BROOKS流量计-科里奥利 |
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最宽的流量和压力范围
长期稳定性带来持续价值
包括批准用于危险区域的产品
软管冲洗/冲洗设备外壳
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适用于对水分或氧气敏感的工艺
高纯度流路最大限度地减少过程污染，提高产量
超快响应时间
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最高工作温度
高精度和可重复性
超高纯度结构
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极低流量过程的最高精度
固有流体密度计
适用于液体和气体应用的设备
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流体类型
气体
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流体类型
气体
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流体类型
气体、蒸汽
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流体类型
气体、液体
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流量范围（满量程）
3 sccm - 2500 lpm
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流量范围（满量程）
.06 sccm - 300 slpm
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流量范围（满量程）
3 sccm - 10 slm
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流量范围（满量程）
10 - 27,000 克/小时
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准确性
± 0.6% SP
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准确性
SP ±1%
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准确性
SP ±1%
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准确性
费率的0.2% - 0.5%
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最大压力
4500 磅/平方英寸
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最大压力
150 磅/平方英寸
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温度
150摄氏度_
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温度
65摄氏度_
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输出类型
模拟和数字
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输出类型
模拟和数字
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输出类型
模拟和数字
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输出类型
模拟和数字
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