美国BROOKS流量计VersaTorr BVT100 系列皮拉尼传感器
具有大气开关功能的超宽范围皮拉尼/压电传感器。
VersaTorr BVT100/125 系列皮拉尼传感器提供一流的性能，并通过将热导真空计的可用测量范围扩大 1-3 个十年来建立了新标准。
VersaTorr BVT100/125 系列基于尖端的 MEMS（微机电系统）传感器技术，结合了新颖的精密数字信号处理架构和先进的创新测量算法。与精密自动化制造和校准过程一起，这些元素结合在一起提供了一种独特的产品，能够提供无与伦比的测量性能。
通过集成 MEMS 隔膜传感器，可以消除热导率计粗真空范围内众所周知的气体依赖性，该传感器提供的精度性能可与更昂贵的电容压力计相媲美。此功能可确保更准确地控制真空系统排气过程，并可防止真空系统过压。
特点与优势
9个十进制的超宽测量范围
先进的数字信号处理提供无与伦比的性价比
2 至 1333 mbar 与气体无关的隔膜传感器
通过 Brooks Vacuum Transducer Communicator USB 编程器轻松配置
超稳定的零点漂移补偿
用于过程控制的可选固态设定点继电器
应用
负载锁
转移室
前线
真空粗加工线
薄膜加工
产品类别双传感器：MEMS Pirani 和压电隔膜
微分器
精度更高，工作范围宽，可实现可靠的抽空和基础压力测量
表现
温度环境温度 - 50 o C
压力范围
7.5x10 -7托至 1000 托
准确性
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±5%
7.50 至 7.49 托：±1%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
测量范围9个十年
温度效应
环境温度 - 50 o C
机械的
暴露材料304 不锈钢、可伐合金、玻璃、硅、镍、铝、SiO 2、Si 3 N 4、金、Viton ®、低释气环氧树脂、焊料、RO4305
过压限制10 巴绝对压力
电气
模拟通信
0.5-9.5 Vdc（每十倍频 1V）
数字通信
RS-232
RS-485
电气连接
9 针 D-sub 公头
15针高清D-sub公头
15 针高清 D-Sub 公头/双模拟输出
6 针 Hirschmann，ID 分辨率 3K
6 针 Hirschmann，ID res 5.1K
6 针 Hirschmann，ID 分辨率 9.1K/11.1K
8 针 RJ45 / FCC68，ID 分辨率 27K
8 针 RJ45 / FCC68，ID 分辨率 36K
8 针 RJ45 / FCC68，ID 分辨率 43K
电源/消耗240 兆瓦（最大）
认证/批准
电磁兼容欧盟指令 2015/863 EMC 指令 2014/30/EU