美国BROOKS流量计VersaTorr BVT200系列皮拉尼传感器介绍
具有大气开关功能的超宽范围皮拉尼/电容/压电传感器。
使用 VersaTorr BVT200/225 系列皮拉尼传感器建立新标准。这是一种多合一的宽范围测量解决方案，适用于各种真空应用。它通过提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的整体经济有效的气体独立测量与使用热损失原理低至 1E-6 mbar 的测量相结合，与任何其他真空计不同。
在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的气体相关皮拉尼压力计将导致测量与实际压力的偏差。Tri-Sensor 传感器使用精密电容膜片计 (CDG) 传感器，消除了对气体的依赖性，并在气体特性发生变化时也能提供准确的测量。
集成的热损失 MEMS 皮拉尼传感器将测量范围扩展到 1E-6 mbar，并提供了一种新颖的电容压力计自动调零功能，从而消除了传统电容隔膜压力计手动调零的常见需求。
特点与优势
9个十进制的超宽测量范围
电容隔膜在低真空范围内增加了 0.5% 的精度
从 5E-3 到 1333 mbar 的 6 个几十年的气体独立测量
电容压力计自动归零
用于诊断的真空温度传感器
应用
负载锁
转移室
前线
真空粗加工线
薄膜加工
产品类别三传感器：MEMS 皮拉尼、电容和压电隔膜
微分器
电容和压电隔膜传感器为过程控制提供扩展的高精度直接真空测量
表现
温度环境温度 - 50 o C
压力范围
7.5x10 -7托至 1000 托
准确性
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±0.5%
7.50 至 7.49 托：±0.5%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
测量范围9 十年
温度效应
环境温度 - 50 o C
机械的
暴露材料304 不锈钢、可伐合金、玻璃、硅、镍、铝、SiO 2、Si 3 N 4、金、Viton ®、低释气环氧树脂、焊料、RO4305
过压限制4 巴绝对
电气
模拟通信
0.5-9.5 Vdc（每十倍频 1V）
数字通信
RS-232
RS-485
电气连接
9 针 D-sub 公头：仅限 BVT120 系列
15针高清D-sub公头
15 针高清 D-Sub 公头/双模拟输出
6 针 Hirschmann，ID res 3K：仅限 BVT120 系列
6 针 Hirschmann，ID res 5.1K：仅限 BVT120 系列
6 针 Hirschmann，ID res 9.1K/11.1K：仅限 BVT120 系列
8 针 RJ45 / FCC68，ID Res 27K：仅限 BVT120 系列
8 针 RJ45 / FCC68，ID Res 36K：仅限 BVT120 系列
8 针 RJ45 / FCC68，ID Res 43K：仅限 BVT120 系列
电源/消耗350 兆瓦（最大）
认证/批准
电磁兼容欧盟指令 2015/863 EMC 指令 2014/30/EU