美国BROOKS流量计-宽范围真空计
单规解决方案，可提高从大气到高真空的精度。
VersaTorr 通过将微皮拉尼/压电传感器设计的进步与主动温度补偿和先进的数字信号处理相结合，扩展了基于 MEMS 的真空计测量的性能，从而将精度和工作范围大大提高了 3 个十倍频程。
主要应用
负载锁
转移室
前线
真空粗加工线
薄膜加工
产品
产品类别 双传感器：MEMS Pirani 和压电隔膜 三传感器：MEMS 皮拉尼、电容和压电隔膜
微分器
精度更高，工作范围宽，可实现可靠的抽空和基础压力测量
电容和压电隔膜传感器为过程控制提供扩展的高精度直接真空测量
压力范围
7.5x10 -7托至 1000 托
7.5x10 -7托至 1000 托
准确性
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±5%
7.50 至 7.49 托：±1%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±0.5%
7.50 至 7.49 托：±0.5%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
温度 环境温度 - 50 o C 环境温度 - 50 o C
模拟通信
0.5-9.5 Vdc（每十倍频 1V）
0.5-9.5 Vdc（每十倍频 1V）
数字通信
RS-232
RS-485
RS-232
RS-485