美国MKS真空计真空传感器介绍-型号:901P-11030

型号:901P-11030概述

901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock 真空传感器结合了 Piezo 和 MicroPirani™ 传感器技术，与传统的热导率计相比，具有显着更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。它具有 0.00001-1000 Torr 压力测量范围和大气切换，以及尺寸 NW16 ISO-KF 法兰。它使用 RS232 数字通信接口来设置传感器参数并提供实时压力测量。901P 专为真空负载锁内的压力测量而设计。它具有从大气压到 10 -5的绝对压力测量替代负载锁上的多个压力测量设备的能力托和大气切换能力。与传统负载锁设计中使用的压力表相比，901P 精确的大气压力测量可以通过更快的循环时间来提高负载锁性能，并防止负载锁被大气污染。901P 结合了绝压和差压测量技术，以提供卓越的性能和功能。901P 提供获得专利的、独立于气体的绝对压力测量范围为 50 -1000 Torr，其精度高于热导传感器。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的传感器元件由一平方毫米的硅芯片制成，可以在非常小的体积内进行测量。由于 MicroPirani™ 技术，901P 可以读取低至 10 -5的压力Torr，比标准皮拉尼传感器低两个十年。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 901P 可以安装在任何方向而不会影响精度。901P 还具有 1VDC/十倍频的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。辅助可选模拟输出用于提供差压测量。901P 具有多达三个可用于过程控制的机械继电器，例如互锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给差分压电测量或组合的绝对 MicroPirani™/压电测量。

技术规格

绝对测量范围1.0 x 10 -5至 1500 托
差分测量范围-760 至 +760 托
数字通信RS232
类型真空传感器
传感器MicroPirani™（MEMS 热导率）和压电微分（MEMS 隔膜）
展示不
密封材料氟橡胶
外壳标准
电连接器15 针，高密度，D-sub 公头
界面RS232/模拟
继电器3
配件类型NW16 ISO-KF
安装方向任何
设定点范围绝对：5.0 x 10 -4托至 1000 托。差分：-760 到 100 托
校准气体空气、氩气、氦气、氮气、H2、H2O 蒸气、CO2、氙气、氖气
工作温度0 - 40°C (32 - 104°F)
最高烘烤温度85°C (185°F)
数字控制调零、量程调整、模拟输出、压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、设定点功能：值、滞后、方向、启用、传感器状态、开关、LED 测试
数字状态绝对压力和差压读数、单位、设定点、工作时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商

模拟输出1-9 VDC（每十年 1 VDC）
模拟输出分辨率16 位
可选模拟输出 25 VDC = 0 Torr，1 VDC/十年（压电差分）
继电器触点额定值1 A @ 30VAC/DC，电阻式
继电器响应最大 100 毫秒
电源要求9 - 30 VDC，最大 <1.2 瓦
微皮拉尼精度5 x 10 -4至 1 x 10 -3 Torr ±10% 读数，1 x 10 -3至 100 Torr ±5% 读数，100 Torr 至大气 ±25% 读数
MicroPirani 重复性1 x 10 -3至 100 Torr ±2% 读数
压电微分精度-10 至 10 Torr ±10% 读数，-100 至 -10 Torr ±8% 读数，-760 至 -100 Torr ±1% 读数，10 至 100 Torr ±5% 读数
压电微分重复性-760 至 10 Torr ±1% 读数
压电微分零稳定性满量程的 ±0.1%（满量程 = 760 托）
超压限制1500 托（绝对值）
暴露材料硅、SiO2、Si3N4、金、低释气环氧树脂、304 不锈钢、氟橡胶
电子外壳和法兰304不锈钢
遵守行政长官
模拟输出 2 分辨率12位
数字波特率4800 - 230400 波特