美国mks流量计G系列GE50A013102RMV020概观
数字控制质量流量控制器利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定值做出快速和可重复的响应。它的满量程流量范围为100 sccm，控制范围为2至100 sccm，具有接地的15引脚D-sub mixture连接器，以及0-5 VDC流量输入/输出信号。
美国mks流量计产品系列概述
GE50A弹性体密封的5-50，000 sccm质量流量控制器
技术规格
类型：质量流量控制器
校准气体：N2(或同等产品)
控制范围：2 - 100 sccm
满量程流量范围：100 sccm
配件类型：0.25英寸。世伟洛克风格
密封材料：氟橡胶
流量输入输出信号：0 - 5伏直流电
模拟连接器：15针D-sub(接地)
最大入口压力：150磅/平方英寸
正常工作压差：10至40磅/平方英寸
耐受压力：1000磅/平方英寸
破裂压力：1500磅/平方英寸
典型精度：20至100%满量程时为设定值的1 %, 2至20%满量程时为满量程的0.2%
可重复性：读数的0.3%
解决：满量程的0.1%
零温度系数：%3C0.05%满量程/℃
跨度温度系数：读数的% 3c 0.08%/C
入口压力系数：读数的%3C0.02%每平方英寸
典型建立时间：%3C750毫秒，典型值高于满量程的5%
预热：时间30分钟
工作温度：10 - 50摄氏度
储存湿度：0至95%相对湿度，非冷凝
储存温度：-20至80摄氏度
外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He)
通过关闭的阀门泄漏完整性：高达10K阀门%3C0.1%的40 psig大气压力下的FS，20K - 50K阀门%3C1.0%的40 psig大气压力下的FS
湿材料：316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍
表面抛光：16英寸平均半径
重量：3磅(1.4千克)
服从：英国国教会