根据复合真空计测量原理使用的物理机制，将主要真空计分为三类：利用力学性能、利用气体动力学效果和利用电粒子效果的真空计。

　　复合真空计利用力学性能的真空计是典型的波顿量规和薄膜量规。复合真空计利用气体动力学效应的典型真空计有菲拉尼电阻计和热电偶计。复合真空计利用电粒子效应的典型真空计有热阴极电离计和冷阴极电离计。

　　1.波顿条例

　　细长的铜管根据气体压力有拉伸现象，旋转杠杆和齿轮，使指针显示在不同的刻度上，以便读取相应的气压值。这个仪表盘的测量范围一般在100Pa  ~ 1atm之间。

　　2.薄膜容量规

　　在不同的压力下，金属膜在力不同的情况下会有不同尺度的变形，通过测量金属膜和电极之间的电容变化，可以知道金属膜中气压的变化。此仪表盘的测量范围通常为0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

　　这种规则的优点是灵敏度很高。缺点是要在高于环境温度的恒温条件下使用。为了消除温差对膜片力学性能的影响，一般需要预热几个小时。

　　3.菲拉尼电阻计

　　也称为热电阻真空计，它利用电阻和温度之间关系的原理工作。由于气压不同气体分子的热传导能力不同，在对烈士施加一定电流时，由于气压不同通过气体传导的热量不同，烈士维持的温度不同，因此烈士阻力大小不同，可以通过测量烈士阻力大小来估算气压大小。配合电桥测量烈士电阻的变化，可以有效提高测量的准确度。此仪表盘的测量范围通常在0.1Pa到1000Pa之间。由于不同气体在相同气压下的热导率不同，因此，该规定应根据不同的使用气体进行测量。

　　4.热电偶规

　　热电偶计与菲拉尼电阻计的基本原理一致，但不是测量火线电阻的变化，而是使用热电偶直接测量热比的温度变化。测量范围通常在0.1Pa到1000Pa之间。和菲拉尼阻力计一样，这一规则也需要在不同的使用气体中加以纠正。

　　5.热阴极电离规

　　在热阴极电离计中，热阴极，即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，收集极收集的离子形成离子电流，通过测量离子电流的大小，可以估算真空中气体分子的密度，从而得到压力大小。此量规的测量范围通常为1.0E-05Pa至0.1Pa。改进的热阴极电离规，Bayard-Alpert法规可以将测量下限降低到1.0E-09Pa。由于同一气压下气体的电离率不同，因此使用时也要在不同气体下进行校正。