复合真空计是测量真空系统气体压力的仪器，种类繁多。这里介绍的复合真空计是常见的，复合真空计由温差电偶真空计和热阴极电离真空计的组合组成。
复合真空计的原理是什么?
复合真空计由玻璃制成，通过管子与真空系统连接，管子内部的两条引线装有热丝，另外两条引线焊接有一对温差电偶，温差电偶另一端用热丝在A点焊接。
在低压下，气体的热传导系数与压力成正比，因此通过烈士的电流(90~150 mA)，在一定条件下，烈士的温度随着调节内真空度的提高，温差电动势也随之增大。因此，通过测量温差电电动势，可以确定测量系统的真空度。温差电偶真空计是根据这一原理制造的。温差玩偶真空计电离真空计的测量范围为1~510-2 Pa。
复合真空计的原理是怎样?
电离真空管通过B管与真空系统连接使用时，灯丝电路中电流为毫安，灯丝受热后会释放电子。因为磁极是正电压，所以电子加速，中间与气体分子碰撞，气体密度越大，碰撞机会越大，产生的正离子就越多。另外，由于板极电压为负，因此吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip，气体分子密度越高(即压力越高)，板极电流也就越大，反之就越小。因此，测量板极电流可以确认气体的压力，热阴极电离真空计是根据这一原理制作的。热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器，测量范围为110-2~110-5 Pa。注意：测量结束后，可以立即关闭电离真空管灯，延长规定寿命。
复合真空计的测量功能是怎样?
1、测量压力范围宽度，105 ~ lo-14pa。
2、大多数真空计是间接测量，只有当压力为105~lOPa时，才能直接测量单位面积施加的力。但是，大多数真空测量的压力比上面提到的要小得多，因此不能直接测量，必须使用低压气体的某些特性间接测量，如热传导、粘性、电离等。
3、多次使用非电量电测技术。
4、大多数真空计的读数与气体的种类和成分有关。因此，测量时要特别注意测量的气体种类和成分。否则，可能会出现大错误。
5、测量准确度不高。