西藏进口美国mks流量计使用手册

典型精度：20至100%满量程时为设定值的1 %, 2至20%满量程时为满量程的0.2% 可重复性：读数的0.3% 解决：满量程的0.1% 零温度系数：%3C0.05%满量程/℃ 跨度温度系数：读数的% 3c 0.08%/C 入口压力系数：读数的%3C0.02%每平方英寸 典型建立时间：%3C750毫秒，典型值高于满量程的5% 预热：时间30分钟 工作温度：10 - 50摄氏度储存湿度：0至95%相对湿度，非冷凝 储存温度：-20至80摄氏度 外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通过关闭的阀门泄漏完整性：高达10K阀门%3C0.1%的40 psig大气压力下的FS，20K - 50K阀门%3C1.0%的40 psig大气压力下的FS 湿材料：316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍 表面抛光：16英寸平均半径 重量：3磅(1.4千克)

工作温度：10-50摄氏度储存湿度：0至95%相对湿度，非冷凝储存温度：-20至80摄氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通过关闭的阀门泄漏完整性：高达10K阀门%3C0.1%的40psig大气压力下的FS，20K-50K阀门%3C1.0%的40psig大气压力下的FS湿材料：316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍表面抛光：16英寸平均半径重量：3磅(1.4千克)服从英国国教会G系列GE50A013103SMV020数字控制质量流量控制器利用的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定值做出和可重复的响应。它的满量程流量范围为100sccm，控制范围为2至1000sccm，具有接地的15引脚D-submixture连接器，以及0-5VDC流量输入/输出信号。美国mks流量计产品系列概述

G系列GE50A013201RMV020的满量程流量范围为20 sccm，控制范围为0.4至20 sccm，具有接地的15引脚D-sub mixture连接器和0-5 VDC流量输入/输出信号。校准N2(或等效气体)，这是一个数字控制的质量流量控制器，利用的MKS控制算法，在整个设备控制范围内和可重复地响应设定点。美国mks流量计产品系列概述 GE50A弹性体密封的5-50，000 sccm质量流量控制器

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