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MKS流量控制器
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  • 产品分类:MKS流量控制器
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美国mks流量计G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。数字控制电子设备利用的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定值做出、可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。广泛的数字和模拟接口选择GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I/O。数字控制电子设备利用的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定点提供和可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。GE50A的模拟和数字I/O可轻松用于替换1179AMFCs的相同I/O类型。GE50As都包括Modbus作为可用的辅助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。


典型精度:20至100%满量程时为设定值的1 %, 2至20%满量程时为满量程的0.2% 可重复性:读数的0.3% 解决:满量程的0.1% 零温度系数:%3C0.05%满量程/℃ 跨度温度系数:读数的% 3c 0.08%/C 入口压力系数:读数的%3C0.02%每平方英寸 典型建立时间:%3C750毫秒,典型值高于满量程的5% 预热:时间30分钟 工作温度:10 - 50摄氏度储存湿度:0至95%相对湿度,非冷凝 储存温度:-20至80摄氏度 外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通过关闭的阀门泄漏完整性:高达10K阀门%3C0.1%的40 psig大气压力下的FS,20K - 50K阀门%3C1.0%的40 psig大气压力下的FS 湿材料:316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍 表面抛光:16英寸平均半径 重量:3磅(1.4千克)


工作温度:10-50摄氏度储存湿度:0至95%相对湿度,非冷凝储存温度:-20至80摄氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通过关闭的阀门泄漏完整性:高达10K阀门%3C0.1%的40psig大气压力下的FS,20K-50K阀门%3C1.0%的40psig大气压力下的FS湿材料:316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍表面抛光:16英寸平均半径重量:3磅(1.4千克)服从英国国教会G系列GE50A013103SMV020数字控制质量流量控制器利用的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定值做出和可重复的响应。它的满量程流量范围为100sccm,控制范围为2至1000sccm,具有接地的15引脚D-submixture连接器,以及0-5VDC流量输入/输出信号。美国mks流量计产品系列概述


解决:满量程的0.1%零温度系数:%3C0.05%满量程/℃跨度温度系数:读数的%3c0.08%/C入口压力系数:读数的%3C0.02%每平方英寸典型建立时间:%3C750毫秒,典型值高于满量程的5%预热:时间30分钟工作温度:10-50摄氏度储存湿度:0至95%相对湿度,非冷凝储存温度:-20至80摄氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通过关闭的阀门泄漏完整性:高达10K阀门%3C0.1%的40psig大气压力下的FS,20K-50K阀门%3C1.0%的40psig大气压力下的FS湿材料:316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍表面抛光:16英寸平均半径重量:3磅(1.4千克)服从:英国国教会美国mks流量计G系列GE50A013103RMV020数字控制质量流量控制器利用的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定值做出和可重复的响应。它的满量程流量范围为1000sccm,控制范围为20至1000sccm,具有接地的15引脚D-submixture连接器,以及0-5VDC流量输入/输出信号。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
 
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空
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HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /
臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观
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