海南供应美国mks流量计使用手册

G系列GE50A013201RMV020的满量程流量范围为20 sccm，控制范围为0.4至20 sccm，具有接地的15引脚D-sub mixture连接器和0-5 VDC流量输入/输出信号。校准N2(或等效气体)，这是一个数字控制的质量流量控制器，利用的MKS控制算法，在整个设备控制范围内和可重复地响应设定点。美国mks流量计产品系列概述 GE50A弹性体密封的5-50，000 sccm质量流量控制器

解决：满量程的0.1%零温度系数：%3C0.05%满量程/℃跨度温度系数：读数的%3c0.08%/C入口压力系数：读数的%3C0.02%每平方英寸典型建立时间：%3C750毫秒，典型值高于满量程的5%预热：时间30分钟工作温度：10-50摄氏度储存湿度：0至95%相对湿度，非冷凝储存温度：-20至80摄氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通过关闭的阀门泄漏完整性：高达10K阀门%3C0.1%的40psig大气压力下的FS，20K-50K阀门%3C1.0%的40psig大气压力下的FS湿材料：316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍表面抛光：16英寸平均半径重量：3磅(1.4千克)服从：英国国教会美国mks流量计G系列GE50A013103RMV020数字控制质量流量控制器利用的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定值做出和可重复的响应。它的满量程流量范围为1000sccm，控制范围为20至1000sccm，具有接地的15引脚D-submixture连接器，以及0-5VDC流量输入/输出信号。

美国mks流量计技术规格类型：质量流量控制器校准气体：N2(或同等产品)控制范围：20-1000sccm满量程流量范围：1000sccm配件类型：4录像机男性密封材料：氟橡胶流量输入输出信号：0-5伏直流电模拟连接器：15针D-sub(接地)大入口压力：150磅/平方英寸正常工作压差：10至40磅/平方英寸耐受压力：1000磅/平方英寸破裂压力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%满量程时为设定值的1%,2至20%满量程时为满量程的0.2%可重复性：读数的0.3%解决：满量程的0.1%零温度系数：%3C0.05%满量程/℃跨度温度系数：读数的%3c0.08%/C入口压力系数：读数的%3C0.02%每平方英寸典型建立时间：%3C750毫秒，典型值高于满量程的5%预热时间：30分钟

美国mks流量计G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。数字控制电子设备利用的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定值做出、可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。广泛的数字和模拟接口选择GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I/O。数字控制电子设备利用的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供和可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。GE50A的模拟和数字I/O可轻松用于替换1179AMFCs的相同I/O类型。GE50As都包括Modbus作为可用的辅助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。成熟的专利热传感器设计提供了的零点稳定性。美国专利号5461913。美国mks流量计产品系列概述GE50A弹性体密封的5-50，000sccm质量流量控制器类型：质量流量控制器校准气体：N2(或同等产品)控制范围：2-100sccm满量程流量范围：100sccm配件类型：0.25英寸。世伟洛克风格密封材料：氟橡胶流量输入输出信号：0-5伏直流电模拟连接器：15针D-sub(接地)大入口压力：150磅/平方英寸正常工作压差：10至40磅/平方英寸耐受压力：1000磅/平方英寸破裂压力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%满量程时为设定值的1%,2至20%满量程时为满量程的0.2%可重复性：读数的0.3%

GE50A采用标准的3英寸尺寸，常用于5sccm至50slm流速范围内的MFC，无需修改现有的气体管线配置即可使用。GE50A的设计采用了少的弹性体。只有一个外部弹性体密封和弹性体阀塞。否则，润湿表面都是金属的。GE50A标配氟橡胶密封件，以及丁腈橡胶、氯丁橡胶、EPMD或Kalrez可选件，允许该装置用于需要这些替代件之一的气体设定值准确度的百分比对于20%至100%的全刻度流量范围，包括的数字校准产生1%的设定点精度，使用N2校准气体。设定点精度可实现的过程控制，相对于满量程精度而言。对于2%至20%满量程的质量流量，精度为满量程的0.2%。

典型精度：20至100%满量程时为设定值的1 %, 2至20%满量程时为满量程的0.2% 可重复性：读数的0.3% 解决：满量程的0.1% 零温度系数：%3C0.05%满量程/℃ 跨度温度系数：读数的% 3c 0.08%/C 入口压力系数：读数的%3C0.02%每平方英寸 典型建立时间：%3C750毫秒，典型值高于满量程的5% 预热：时间30分钟 工作温度：10 - 50摄氏度储存湿度：0至95%相对湿度，非冷凝 储存温度：-20至80摄氏度 外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通过关闭的阀门泄漏完整性：高达10K阀门%3C0.1%的40 psig大气压力下的FS，20K - 50K阀门%3C1.0%的40 psig大气压力下的FS 湿材料：316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍 表面抛光：16英寸平均半径 重量：3磅(1.4千克)

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