甘肃代理日本HORIBA流量计厂家
日本HORIBA流量计規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大50slm N2 标称流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大200slm N2 标称流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于大 50slm N2 标称流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于大 200slm N2 标称流量.
日本HORIBA流量计其它型号
SEC- (质量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (质量流量计)
E40
E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2〜 F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0〜 F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度
5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号
0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.
流量输出信号
0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
UR系列产品为使用高精度压力传感器及，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额。
HoribaZ700系列的产品特征：
可使用DeviceNet控制接口
符合官方要求的RoHS处理
HOIRBA集团拥有多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门，主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害，气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作，反应源液罐体后端控压以罐内压力稳定在范围。这些器件的研发及使用都致力于提高制程工艺中的良品率。
常见的压力控制器UR-Z700系列 HoribaZ700系列的产品概要：
HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS处理HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。