黑龙江进口日本HORIBA流量计使用手册

HORIBA STEC, 作为范围内市场占有率超过35%*1的流量计生产商, 长期以来如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在，手携的技术，HORIBA STEC 正在向推广新型的质量流量控制器： Z500系列。相对于旧有的型号，Z500X 系列实现了的突破， 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要，轻松地更改流量计气体种类和量程。

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。 包括SEC-N177R。质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

SEC/N122JM气体质量流量控制器概要

SEC- (质量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (质量流量计)

E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2〜 F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0〜 F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa・m3/s(He)以下

使用环境温度

5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)

流量设定信号

0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.

流量输出信号

0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。 HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS处理HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

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