甘肃代理日本HORIBA流量计的简单介绍
日本HORIBA流量计型号SEC- (质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (质量流量计)E40E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2?100% F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0?100% F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度
5?50℃(精度的确保:15?35℃)
流量设定信号
0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量输出信号
0?5VDC(小负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
日本HORIBA流量计(型号:S48300/HMT)
1,可应用行业:真空镀膜 表面处理 配气系统等
2,流量:(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
3,产品特点:
A,高精度
B,良好的线性
C,的响应
D,电磁阀使用寿命≥100万次
E,对零点漂移有效的抑制
F,化的零配件供应
G,通讯接口优势
H,多台控制器可以同时运行
日本HORIBA流量计HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模拟橡胶密封质量流量计
STEC SFC-480模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEF-11模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-Z10D模拟金属密封质量流量计
STEC SEC-PV2000模拟金属密封质量流量计
STEC SEC-PV1000模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7440模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7340模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7350模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7330模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4600模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4500模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4400模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-3400S模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-400模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-300模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-E40MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本质量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液体微小质量流量计/控制器
STEC SEC-400MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC-N100数字式质量流量控制器
STEC SEC-Z700热感传感器,压力钝感质量流量计
STEC SEC-Z500X多范围/多气体的数字式质量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高温应用质量流量控制器
STEC SEC-2000高温的质量流量控制器
STEC SEC-8000高温应用质量流量控制器
EC-Z500X 使用了开发的“可更改PID”系统,任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时,PID数据将进行自动的调整,即使在气体种类和流量范围变更后,PID数据也能够自动优化,实现高速响应。 复合气体、复合流量方案 HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来,就可以很大程度上减少客户备品的数量,同时节省了时间和成本。
SEC/N122JM气体质量流量控制器概要
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。
Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.
The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.