上海供应日本HORIBA流量计维修
日本HORIBA流量计概要
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在对流量进行计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
日本HORIBA流量计型号SEC- (质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (质量流量计)E40E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2?100% F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0?100% F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度
5?50℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号
0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量输出信号
0?5VDC(小负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
日本HORIBA流量计其它型号
SEC- (质量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (质量流量计)
E40
E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2〜 F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0〜 F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度
5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号
0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.
流量输出信号
0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。