贵州供应日本HORIBA流量计的简单介绍

所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在对流量进行计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。日本HORIBA流量计Gas Mass Flow Controllers / Meters

· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号：SEC-E40MK3/E50MK3如今半导体成为工业进化中的核心部件。HORIBA聚焦于半导体的微观世界。HORIBA各个领域的专家学者们致力于不同行业的工程项目研究，诸如评估和分析、超纯水的纯度、气液体的成分，更广泛地说即和。伴随HORIBA明确针对全工艺流程的目标，我们已成功开发了一系列的分析设备，液体控制和监测系统已适应半导体制程中每一步工艺所需的严格质量控制需求。在制程的整个阶段，从材料分析到检查，HORIBA产品能帮助客户在高精尖端的电子器件制程达到能。

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。 包括SEC-N177R。质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS处理 常见的压力控制器是UR-Z700系列，一款数字式自动压力调节器。根据不同用途，该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中，当供气压力突然发生变化时，管道或罐体内的压力也随之发生变化，这不仅会影响整条管路流量的稳定，甚至可能会对整台设备的造成大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列，通过响应，高精度，稳定控制的性能来调整管路压力。即使面对这种情况，只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力，并确保气体质量流量控制器及反应源液的稳定运行。 

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时　关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2?100% F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用环境温度

5?50℃(精度的确保：15?35℃)

流量设定信号

0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。