黑龙江供应日本HORIBA流量计哪里有卖
日本HORIBA流量计概要
质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA STEC, 作为范围内市场占有率超过35%*1的流量计生产商, 长期以来如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在，手携的技术，HORIBA STEC 正在向推广新型的质量流量控制器： Z500系列。
相对于旧有的型号，Z500X 系列实现了的突破， 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要，轻松地更改流量计气体种类和量程*2。
此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求，为客户提升产品价值。
高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。
1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
2 复合气体、复合流量功能。
日本HORIBA流量计其它型号
SEC- (质量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (质量流量计)
E40
E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2〜 F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0〜 F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度
5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号
0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.
流量输出信号
0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
日本HORIBA流量计規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大50slm N2 标称流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大200slm N2 标称流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于大 50slm N2 标称流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于大 200slm N2 标称流量.
日本HORIBA流量计-SEC/Z712-SEC/Z722热感传感器压力钝感质量流量计
日本HORIBA SEC-Z700系列热感传感器，压力钝感质量流量计
型号;
SEC-Z712MGX SEC-714MGX SEC-Z722MGX SEC-Z724MGX SEC-Z732MGX SEC-Z734MGX SEC-Z742MGX SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本，尺寸及复杂度。
特征
多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程
可变PID功能实现整个范围内的高速响应（1秒内）
简化气路线无需额外增加调节器，传感器，过滤器
稳定控制气体流量，不受上游端及下游端的压力波动影响
搭载进气压传感器
多种展示
1% S.P.的精度
洁净设计 - 金属隔板，采用不锈钢SUS-316L，抛光面表面处理（标准）
轻巧的尺寸
50SLM内相同的配件尺寸
信号兼容
模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式
数字信号控制
日本HORIBA流量计/质量流量控制器SEC-E40质量流量计
无锡飞斯卡精密科技有限公司
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在对流量进行计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。