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SEC/N122JM气体质量流量控制器概要

此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求，为客户提升产品价值。高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。日本HORIBA流量计-SEF-Z542质量流量计特征 高精度：设定流量值±1.0%. MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。 包括SEC-N177R。质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大200slm N2 标称流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于大 50slm N2 标称流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于大 200slm N2 标称流量.

HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。 HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS处理HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。