西藏代理日本HORIBA流量计公司官网
此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求，为客户提升产品价值。高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。日本HORIBA流量计-SEF-Z542质量流量计特征 高精度：设定流量值±1.0%. MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。
日本HORIBA流量计其它型号
SEC- (质量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (质量流量计)
E40
E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2〜 F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0〜 F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度
5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号
0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.
流量输出信号
0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
日本HORIBA流量计-SEC/Z712-SEC/Z722热感传感器压力钝感质量流量计
日本HORIBA SEC-Z700系列热感传感器，压力钝感质量流量计
型号;
SEC-Z712MGX SEC-714MGX SEC-Z722MGX SEC-Z724MGX SEC-Z732MGX SEC-Z734MGX SEC-Z742MGX SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本，尺寸及复杂度。
特征
多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程
可变PID功能实现整个范围内的高速响应（1秒内）
简化气路线无需额外增加调节器，传感器，过滤器
稳定控制气体流量，不受上游端及下游端的压力波动影响
搭载进气压传感器
多种展示
1% S.P.的精度
洁净设计 - 金属隔板，采用不锈钢SUS-316L，抛光面表面处理（标准）
轻巧的尺寸
50SLM内相同的配件尺寸
信号兼容
模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式
数字信号控制
日本HORIBA流量计HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模拟橡胶密封质量流量计
STEC SFC-480模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEF-11模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-Z10D模拟金属密封质量流量计
STEC SEC-PV2000模拟金属密封质量流量计
STEC SEC-PV1000模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7440模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7340模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7350模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7330模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4600模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4500模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4400模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-3400S模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-400模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-300模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-E40MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本质量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液体微小质量流量计/控制器
STEC SEC-400MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC-N100数字式质量流量控制器
STEC SEC-Z700热感传感器，压力钝感质量流量计
STEC SEC-Z500X多范围/多气体的数字式质量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高温应用质量流量控制器
STEC SEC-2000高温的质量流量控制器
STEC SEC-8000高温应用质量流量控制器
日本HORIBA流量计型号SEC- (质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (质量流量计)E40E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2?100% F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0?100% F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度
5?50℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号
0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量输出信号
0?5VDC(小负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。