上海供应日本HORIBA流量计修理

EC-Z500X 使用了开发的“可更改PID”系统，任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。 复合气体、复合流量方案 HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来，就可以很大程度上减少客户备品的数量，同时节省了时间和成本。

日本HORIBA  SEC-Z700系列热感传感器，压力钝感质量流量计

型号;

 SEC-Z712MGX  SEC-714MGX  SEC-Z722MGX  SEC-Z724MGX  SEC-Z732MGX  SEC-Z734MGX  SEC-Z742MGX  SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本，尺寸及复杂度。

特征

多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程

可变PID功能实现整个范围内的高速响应（1秒内）

简化气路线无需额外增加调节器，传感器，过滤器

稳定控制气体流量，不受上游端及下游端的压力波动影响

搭载进气压传感器

多种展示

1% S.P.的精度

洁净设计 - 金属隔板，采用不锈钢SUS-316L，抛光面表面处理（标准）

轻巧的尺寸

50SLM内相同的配件尺寸

信号兼容

模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式

数字信号控制

  HOIRBA集团拥有多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门，主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害，气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作，反应源液罐体后端控压以罐内压力稳定在范围。这些器件的研发及使用都致力于提高制程工艺中的良品率。    常见的压力控制器UR-Z700系列  HoribaZ700系列的产品概要：

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。