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HORIBA质量流量计
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HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的,以及拥有世界大的市场份额,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS处理 常见的压力控制器是UR-Z700系列,一款数字式自动压力调节器。根据不同用途,该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中,当供气压力突然发生变化时,管道或罐体内的压力也随之发生变化,这不仅会影响整条管路流量的稳定,甚至可能会对整台设备的造成大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列,通过响应,高精度,稳定控制的性能来调整管路压力。即使面对这种情况,只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力,并确保气体质量流量控制器及反应源液的稳定运行。 












SEC/N122JM气体质量流量控制器概要



日本HORIBA流量计概要
质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

HORIBA STEC, 作为范围内市场占有率超过35%*1的流量计生产商, 长期以来如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在,手携的技术,HORIBA STEC 正在向推广新型的质量流量控制器: Z500系列。

相对于旧有的型号,Z500X 系列实现了的突破, 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要,轻松地更改流量计气体种类和量程*2。

此外,藉由产品材料的技术革新, Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求,为客户提升产品价值。

高性能的Z500系列流量计,将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。

1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
2 复合气体、复合流量功能。

  UR系列产品为使用高精度压力传感器及,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造,使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。 HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的,以及拥有世界大的市场份额。 HoribaZ700系列的产品特征: 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS处理

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

 

Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.

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