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HORIBA质量流量计
贵州供应日本HORIBA流量计控制器-飞斯卡
  • 贵州供应日本HORIBA流量计控制器-飞斯卡

  • 产品分类:HORIBA质量流量计
  • 展开更多评论2024-11-24 10:2:57
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贵州供应日本HORIBA流量计控制器

此外,藉由产品材料的技术革新, Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求,为客户提升产品价值。高性能的Z500系列流量计,将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。日本HORIBA流量计-SEF-Z542质量流量计特征 高精度:设定流量值±1.0%. MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的, 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度, HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统, 并在大量实验的基础上,采集各种制程气体的校准数据。

 


日本HORIBA流量计-SEC/Z712-SEC/Z722热感传感器压力钝感质量流量计

 

 

日本HORIBA  SEC-Z700系列热感传感器,压力钝感质量流量计

型号;

 SEC-Z712MGX  SEC-714MGX  SEC-Z722MGX  SEC-Z724MGX  SEC-Z732MGX  SEC-Z734MGX  SEC-Z742MGX  SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本,尺寸及复杂度。

特征

多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程

可变PID功能实现整个范围内的高速响应(1秒内)

简化气路线无需额外增加调节器,传感器,过滤器

稳定控制气体流量,不受上游端及下游端的压力波动影响

搭载进气压传感器

多种展示

1% S.P.的精度

洁净设计 - 金属隔板,采用不锈钢SUS-316L,抛光面表面处理(标准)

轻巧的尺寸

50SLM内相同的配件尺寸

信号兼容

模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式

数字信号控制


日本HORIBA流量计特征
高精度:设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的, 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度, HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统, 并在大量实验的基础上,采集各种制程气体的校准数据。
高速响应
SEC-Z500X 使用了开发的“可更改PID”系统,任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时,PID数据将进行自动的调整,即使在气体种类和流量范围变更后,PID数据也能够自动优化,实现高速响应。
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来,就可以很大程度上减少客户备品的数量,同时节省了时间和成本。
 

HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的,以及拥有世界大的市场份额,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS处理 常见的压力控制器是UR-Z700系列,一款数字式自动压力调节器。根据不同用途,该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中,当供气压力突然发生变化时,管道或罐体内的压力也随之发生变化,这不仅会影响整条管路流量的稳定,甚至可能会对整台设备的造成大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列,通过响应,高精度,稳定控制的性能来调整管路压力。即使面对这种情况,只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力,并确保气体质量流量控制器及反应源液的稳定运行。 

 


日本HORIBA流量计概要

 

 

所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响,如需要准确测定时,对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候,不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在对流量进行计测和控制的领域,质量流量控制器被广泛的使用,例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

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