湖北供应日本HORIBA流量计厂家

日本HORIBA流量计其它型号

SEC- (质量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (质量流量计)

E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2〜 F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0〜 F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa・m3/s(He)以下

使用环境温度

5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)

流量设定信号

0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.

流量输出信号

0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS处理 常见的压力控制器是UR-Z700系列，一款数字式自动压力调节器。根据不同用途，该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中，当供气压力突然发生变化时，管道或罐体内的压力也随之发生变化，这不仅会影响整条管路流量的稳定，甚至可能会对整台设备的造成大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列，通过响应，高精度，稳定控制的性能来调整管路压力。即使面对这种情况，只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力，并确保气体质量流量控制器及反应源液的稳定运行。 

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时　关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2?100% F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用环境温度

5?50℃(精度的确保：15?35℃)

流量设定信号

0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。