5800 系列质量流量计和质量流量控制器在稳定性和可靠性方面堪称标杆，因
而赢得广泛的认可。这些产品具有广泛的流量测量范围并适用于各种各样的温
度和压力条件，非常适合在化工和石化研究、实验室、分析、燃料电池和生命
科学等领域的应用。
5800 系列质量流量产品的亮点包括：行业领先的长期稳定性、利用符合国际
标准的主要校准系统的卓越计量系统和方法保驾护航的精度，以及各种各样的
模拟 I/O 选项。
5800 系列是一个基于简单模块化架构的高度可配置平台。经过精心挑选的 5800
系列功能支持直接替代许多品牌的质量流量控制器。5800 系列多样选项和功能
使其成为支持用户各种各样应用的单一平台。
Brooks 的传感器技术兼具以下优点：
1、卓越的信噪比性能，可在低设定值下获得高精度
2、通过改进传感器制造和烧机测试工艺获得卓越的长
3、期稳定性
4、恒温封装可降低对外部温度变化的敏感性
5、宽流量范围
6、5800 系列的流量范围极广。5850 型具有低至 3 ccm
7、的满量程流量。借助 50:1 的高调节比，可重复测量或
8、控制 0.06 ccm 流量的气体！5853 型可监测或控制高达
9、1000 lpm 的气体流量。
10、快速响应性能
11、5800 系列的电子器件和卓越的机械配置确保快速、稳
12、定的响应特性。
长期的设备稳定性使您的生产保持在目标上。
型号 5850E、i / 5851E、i / 5860E、i / 5861E、i / 5853E、i / 5863E、i
每个产品线都有一个主力——我们的 5850E 和 5850i 系列热式质量流量控制器符合要求。它们在全球数千个应用中积极使用了数十年，利用独特、极其稳定的流量传感器提供当今苛刻的工业制造过程所需的可靠、准确和可重复的测量和控制。
特征
每年<0.2%满量程的长期零稳定性
对命令变化的快速流量响应，过冲/下冲可忽略不计
广泛的流量等级 - 从 3 sccm 到 1000 slpm
高压等级 - 高达 1,500 psi
可拆卸流量传感器
对安装姿态不敏感
与其他质量流量控制器机械和电气兼容
电控阀超控
耐腐蚀阀门
好处
在广泛的过程和应用范围内经过验证的长期稳定性和准确性
可靠的性能带来出色的投资回报
可拆卸流量传感器无需连续监测和重新调整气压
由于仅模拟输入/输出，易于安装和维修
应用
化学和石化催化剂研究和中试工艺
实验室和分析系统
生命科学生物反应器
太阳的
美国BROOKS流量计5850型号
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5850E，i
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5851E，i
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5860E，i
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5861E，i
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5853E，i
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5863E，i
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产品类别
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质量流量控制器
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质量流量控制器
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质量流量计
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质量流量计
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质量流量控制器
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质量流量计
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微分器
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设备类型
流量范围
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设备类型
流量范围
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设备类型
流量范围
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设备类型
流量范围
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设备类型
流量范围
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设备类型
流量范围
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流量范围（满量程）
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高达 30 slpm
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10 - 100 升/分钟
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高达 30 slpm
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10 - 100 升/分钟
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100 -1000 升/分
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100 - 1000 升/分钟
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最大压力
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1500 磅/平方英寸
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1500 磅/平方英寸/100 巴
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4500 磅/平方英寸
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4500 磅/平方英寸
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1500 磅/平方英寸
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1500 磅/平方英寸
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准确性
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1.0% FS < 20 SLPM
1.5% FS 20-50 SLPM
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1% 满量程，包括校准条件下的线性度
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1.0% FS < 20 SLPM
1.5% FS 20-50 SLPM
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1% 满量程，包括校准条件下的线性度
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1% 满量程，包括校准条件下的线性度
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1% 满量程，包括校准条件下的线性度
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重复性
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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响应时间
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E 系列：在满量程的 2% 内 < 3 秒（0-100% 命令步长）
I 系列：满量程 2% 内 6 秒（0-100% 命令步长）
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E 系列：在满量程的 2% 内 < 3 秒（0-100% 命令步长）
I 系列：满量程 2% 内 6 秒（0-100% 命令步长）
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E 系列：在满量程的 2% 内 < 3 秒（0-100% 命令步长）
I 系列：满量程 2% 内 6 秒（0-100% 命令步长）
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E 系列：在满量程的 2% 内 < 3 秒（0-100% 命令步长）
I 系列：满量程 2% 内 6 秒（0-98% 命令步长）
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E 系列：在满量程的 2% 内 < 3 秒（0-100% 命令步长）
I 系列：满量程 2% 内 6 秒（0-100% 命令步长）
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E 系列：在满量程的 2% 内 < 3 秒（0-100% 命令步长）
I 系列：满量程 2% 内 6 秒（0-100% 命令步长）
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多气体和范围可配置性
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不适用
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不适用
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不适用
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不适用
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不适用
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不适用
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诊断能力
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手动的
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手动的
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手动的
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手动的
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手动的
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手动的
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模拟通信
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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数字通信
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不适用
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不适用
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不适用
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不适用
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不适用
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不适用
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电气连接
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D型连接器
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D型连接器
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D型连接器
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D型连接器
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D型连接器
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D型连接器
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产品类别：质量流量控制器
微分器：经验证的可靠性能；长期稳定性；易于在现场更改范围和重新校准
表现
流量范围（满量程）：0 - 1000 升/分钟
准确性：FS 的 1%；1.5% FS > 20 slpm
重复性：费率的 0.25%
线性度：包含在准确性中
响应时间：E 系列控制器：< 3 秒；I 系列控制器：< 6 秒；米：6秒
多气体和范围可配置性：—
最大压力：控制器：1500 psig
仪表：某些型号最高可达 4500 psig
控制范围：50:1
零稳定性：< 0.2% FS 每年
流动温度系数
零：<0.075% FS per o C
跨度：<1.0% SP 超过 10-50 o C
输入输出：0-5 伏直流电；I系列：0-20毫安；4-20毫安
收视率
最高温度：65摄氏度_
机械的
密封材料：弹性体密封
诊断
诊断能力：—
电气
模拟通信：0-5 伏直流；0-20 毫安；4-20 毫安
数字通信：—
电气连接：D型连接器
电源/消耗：< 10.5 瓦
遵守
认证/批准：—
尺寸：中等的
美国BROOKS流量计5850型号配件和软件