根据你的需求为你设计产品

联系我们

无锡飞斯卡精密科技有限公司

手机:13961627187

网址:www.feiscoo.com
地址:无锡市新吴区裕安路75
HORIBA质量流量计
广西供应日本HORIBA流量计选型
  • 广西供应日本HORIBA流量计选型

  • 产品分类:HORIBA质量流量计
  • 展开更多评论2024-11-23 10:13:5
  • 市场价:¥0.00
  • 本站价:0.00
产品订购热线:13961627187


广西供应日本HORIBA流量计选型

  HOIRBA集团拥有多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门,主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害,气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作,反应源液罐体后端控压以罐内压力稳定在范围。这些器件的研发及使用都致力于提高制程工艺中的良品率。    常见的压力控制器UR-Z700系列  HoribaZ700系列的产品概要:


HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的,以及拥有世界大的市场份额,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS处理 常见的压力控制器是UR-Z700系列,一款数字式自动压力调节器。根据不同用途,该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中,当供气压力突然发生变化时,管道或罐体内的压力也随之发生变化,这不仅会影响整条管路流量的稳定,甚至可能会对整台设备的造成大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列,通过响应,高精度,稳定控制的性能来调整管路压力。即使面对这种情况,只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力,并确保气体质量流量控制器及反应源液的稳定运行。 



日本HORIBA流量计特征
高精度:设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的, 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度, HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统, 并在大量实验的基础上,采集各种制程气体的校准数据。
高速响应
SEC-Z500X 使用了开发的“可更改PID”系统,任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时,PID数据将进行自动的调整,即使在气体种类和流量范围变更后,PID数据也能够自动优化,实现高速响应。
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来,就可以很大程度上减少客户备品的数量,同时节省了时间和成本。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

网上采购:
姓名:
*
手机或电话:
*
邮箱:
*
采购意向描述:
*

请填写采购 的产品数量和产品描述,方便我们进行统一备货。
验证码:
提交信息
相关产品
产品评论
 
  • 该产品没有收到任何评价!

验证码:
看不清楚?点击换张图片