海南代理日本HORIBA流量计质量

日本HORIBA流量计-SEC/Z712-SEC/Z722热感传感器压力钝感质量流量计

日本HORIBA  SEC-Z700系列热感传感器，压力钝感质量流量计

型号;

 SEC-Z712MGX  SEC-714MGX  SEC-Z722MGX  SEC-Z724MGX  SEC-Z732MGX  SEC-Z734MGX  SEC-Z742MGX  SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本，尺寸及复杂度。

特征

多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程

可变PID功能实现整个范围内的高速响应（1秒内）

简化气路线无需额外增加调节器，传感器，过滤器

稳定控制气体流量，不受上游端及下游端的压力波动影响

搭载进气压传感器

多种展示

1% S.P.的精度

洁净设计 - 金属隔板，采用不锈钢SUS-316L，抛光面表面处理（标准）

轻巧的尺寸

50SLM内相同的配件尺寸

信号兼容

模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式

数字信号控制


日本HORIBA流量计規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大50slm N2 标称流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大200slm N2 标称流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于大 50slm N2 标称流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于大 200slm N2 标称流量.
 

此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求，为客户提升产品价值。高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。日本HORIBA流量计-SEF-Z542质量流量计特征 高精度：设定流量值±1.0%. MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。