Pfeiffer 德国普发冷阴极真空计 IKR 系列技术参数
型号
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接口
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真空计测量
范围 hPa
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工作温度°C
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烘烤温度°C
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真空计
测量精度
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极限压力
hPa
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重量
g
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IKR 360 低电流
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DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
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1X10-9 -10-2
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5-55
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150
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± 30 %
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10,000
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280-570
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IKR 360
高电流
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DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
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1X10-9 -10-2
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5-55
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150
|
± 30 %
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10,000
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280-570
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IKR 251
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DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
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2X10-9 -10-2
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5-55
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150
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± 30 %
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10,000
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700
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IKR 261
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DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
long case,
DN 40 CF-F
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2 X10-9 -10-2
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5-55
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250
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± 30 %
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10,000
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700
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IKR 270
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DN 40 CF-F
long case,
DN 40 CF-F
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5X10-11 -10-2
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5-55
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250
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± 30 %
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10,000 |
950
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真空计 IKR 360 低电流:用于中真空和高真空的真空工艺