美国mks流量计:多气体-多量程-弹性体密封、5 - 50,000 sccm 质量流量控制器
G 系列 GE50A 数字控制质量流量控制器可用于 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内对设定点进行快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生 1% 的设定点精度。
流速从 5 到 50,000 sccm
Viton、Buna、Neoprene 或 Kalrez 的密封件和阀塞选项
多种数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 选择
标准闭合电导泄漏率小于满量程的 0.1%
小于 750 毫秒的建立时间
相比 模型 图纸、CAD 和规格 满量程流量范围 配件类型 密封材料 模拟连接器 可用性 价格
GE50A013101RMV020 10 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013102RMV020 100 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013102SMV020 100 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013103RMV020 1000 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013103SMV020 1000 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013201RMV020 20 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013202RMV020 200 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013203RMV020 2000 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013204RMV020 20000 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013204SMV020 20000 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013501RMV020 50 立方厘米 4VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013502RMV020 500 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我们
1
GE50A013503RMV020 5000 立方厘米 4 VCR 公头 氟橡胶 15 针 D-sub（接地） 联系我
配置选项
类型质量流量控制器
控制范围满量程的 2% 至 100%
满量程流量范围5 - 50,000 立方厘米
密封材料Viton、Buna-N、氯丁橡胶或 Kalrez
模拟连接器9 针或 15 针 D 型超小型
最大入口压力150 磅/平方英寸
正常工作压差10 至 5000 立方厘米；10 至 40 psid，10000 至 20000 sccm；15 至 40 psid，30000 至 50000 sccm；25 到 40 psid
证明压力1000 磅/平方英寸
爆破压力1500 磅/平方英寸
典型精度20 至 100% 满量程的 ±1% 设置点，2 至 20% 满量程的 ±0.2% 满量程
重复性±0.3% 读数
解析度满量程的 0.1%
零温度系数<满量程的0.05%/°C
跨度温度系数<0.08% 读数/°C
入口压力系数<0.02% 读数/psi
典型稳定时间<750 毫秒，典型值高于满量程的 5%
热身时间30分钟
工作温度10°C 至 50°C
储存湿度0 至 95% 相对湿度，无冷凝
贮存温度-20° 至 80°C
外部泄漏完整性<1 x 10 -09 (scc/sec He)
通过关闭阀门泄漏完整性高达 10K 阀门 <0.1% FS 在 40 psig 到大气压，20K - 50K 阀门 <1.0% FS 在 40 psig 到大气压
接液材料316L SS VAR、316 SS、Elgiloy®、镍
表面处理16µ 英寸平均 Ra
重量3 磅（1.4 公斤）
遵守行政长官
特征
广泛的数字和模拟接口选择
GE50A 数控 MFC 可提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备采用最新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GE50A 的模拟和数字 I/O 可轻松用于替换 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有 GE50A 都包含 Modbus 作为可用的辅助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。
所有金属润湿表面
GE50A 的设计采用了最少的弹性体。只有一个外部弹性体密封和弹性体阀塞。否则，所有润湿的表面都是金属的。GE50A 标配 Viton® 密封件以及 Buna、Neoprene®、EPMD 或 Kalrez® 选项，允许设备使用需要这些替代品之一的气体
嵌入式用户界面
嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存需求。您还可以监控 MFC 功能并就地收集性能数据。
标准 3 英寸占地面积
GE50A 在 5 sccm 至 50 slm 流量范围内采用 MFC 最常使用的标准 3 英寸占地面积，无需修改现有气体管线配置即可使用。
设定点精度百分比
包含的数字校准产生 1% 的设定点准确度，使用 N2 校准气体，用于 20% 至 100% 的满量程流量范围。设定点精度可实现精确的过程控制与相对于满量程的精度。对于 2 至 20% 满量程的质量流量，精度为 ±0.2% 满量程。
专利热传感器
久经考验的专利热传感器设计可提供出色的零位稳定性。美国专利号 5461913。
配件
相比 描述 图纸、CAD 和规格 可用。 价格
CB147-12-10
电缆，质量流量控制器，DB9，10 英尺。
联系我们
1
CB147-1-10
电缆，质量流量控制器，PR4000、146、167、186 或 647 控制器，DB15，10 英尺。
联系我们
1
wa01220-01 质量流量控制器电缆 100016744
电缆，质量流量控制器，946 控制器，DB15 到 HD15，10 英尺。
联系我们
1
100016745
电缆，质量流量控制器，946 控制器，DB15 到 HD15，25 英尺。
联系我们
1
CB259-5-10
电缆，质量流量控制器，246、247 或 660 控制器，DB15，10 英尺。
联系我们
1
100016746
电缆，质量流量控制器，946 控制器，DB15 到 HD15，50 英尺。
联系我们
1
100019087
电缆，质量流量控制器，946 控制器，DB9 到 HD15，10 英尺。
联系我们
1
100019088
电缆，质量流量控制器，946 控制器，DB9 到 HD15，25 英尺
联系我们
1
100019089
质量流量控制器电缆，946 控制器，DB9 到 HD15，50 英尺。
联系我们
1
RCBDMFC-1-10
电缆，质量流量控制器，246、247 或 660 控制器，RoHS，DB15，10 英尺。
联系我们
1
RCBDMFC-4-10
电缆，质量流量控制器，PR4000、146、167、186 或 647 控制器，RoHS，DB15，10 英尺。
联系我们
1
RCBDMFC-3-10
电缆，质量流量控制器，RoHS，DB9，10 英尺。
联系我们
1
RCB147-1-10
质量流量计电缆，PR4000 控制器到 DB15 质量流量计，10 英尺。
联系我们
1
RCB147-12-10
质量流量计电缆，PR4000 控制器到 DB9 质量流量计，10 英尺。
联系我们
1
RCB147-7-10
质量流量计电缆，PR4000 控制器到 20 针卡边流量计，10 英尺。
联系我们
1