美国BROOKS流量计-金属密封压力控制器-稳定的压力控制和增强的工艺气体纯度和最大化过程结果
Brooks Instrument 的金属密封压力控制器设计可靠耐用，同时提供全球用户信赖的持续且经过验证的精度，来自流体测量和控制领域的领导者。我们的电子压力控制器利用我们行业领先的热式质量流量控制器中的核心控制技术。
电子压力控制器消除了与传统机械弹簧隔膜压力调节器相关的下垂和滞后。而且，选择金属密封压力控制器可以提高气体的纯度，因为消除了氧气通过弹性体的渗透，并且由于金属密封可以无限期地使用，因此可以减少维护。
Brooks 压力控制器可配备内部压力传感器，以控制从 torr 到 500 psig 范围内的压力。结果：压力控制器使关键的半导体工艺保持在目标上并处于最严格的控制之下——日复一日，日复一日。
主要应用
硅半导体器件制造工艺——蚀刻、剥离、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、注入和 RTP
化合物半导体器件制造工艺——MOCVD
精密工程表面涂层
分析系统
真空工艺应用
选择最符合您项目要求的压力控制装置。
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