美国BROOKS流量计汽化产品应用
先进的汽化技术可实现更纯净、更高效的蒸汽生产。
许多工业和半导体工艺需要将包括水和其他液体前体在内的液体转化为高度可控的纯蒸汽。
汽化是从液相到气相的相变。因此，蒸发器是将液态材料转化为气态的任何系统。虽然可以通过多种不同方式实现汽化，但所有现代汽化器（例如水汽化器）都具有几个共同特征：
提高温度和/或降低液体的环境压力
用于捕获和控制蒸汽流量的封闭系统
利用反馈和控制回路系统来调节汽化率
主要应用
水汽化/加湿
化学气相沉积
沉积薄膜以增强热、光学或硬度特性
用于真空聚合物薄膜处理的汽化单体
产生校准蒸气
蒸发液态碳氢化合物
蒸汽输送模块
超高压去离子水蒸气应用
仅低于大气压的工艺室
产品类别去离子水蒸气输送模块
微分器
高纯度 DIW 蒸汽输送
最高流量精度
紧凑型设计
EtherCAT 数字通信
增强用户界面
汽化法蒸汽抽吸
流体类型去离子水
最大蒸汽容量
3000 sccm（去离子水）
最大压力200 托
