美国BROOKS流量计半导体产品
绝对的精度和控制。适用于世界上要求最高的行业。
精确和可重复的过程控制：它是制造电子和半导体产品的根本驱动因素。随着每一代工具、流程和节点的开发和部署，对半导体流量和压力仪表的不断创新和改进的极端、超高性能要求和需求已经 - 并将继续 - 不停歇。
Brooks Instrument 的半导体产品通过业界最先进的流量、压力、真空和蒸汽输送解决方案满足了这些要求。我们的半导体产品组合建立在我们数十年创造许多突破性测量和控制设备的经验之上，这些设备现在已成为行业各个层面工艺工具的标准组件。
当您选择 Brooks Instrument 的半导体产品时，您也选择了只有我们才能为解决基本 FEOL 和 BEOL 工艺和良率挑战提供的独特见解和资源：
专业知识：领先的半导体工具制造商期待 Brooks 员工的成熟专业知识和洞察力，以改进我们的流量和压力测量和控制技术，以应对独特的工艺气体、腔室匹配和吞吐量挑战。
精度： Brooks 在我们提供的半导体产品中为客户提供最合适的、特定于应用的精度、耐用性以及最重要的可重复性，以帮助管理飞涨的工具成本。我们不断投资以改进我们的产品组合，因此每台设备都有助于改进过程控制，最终转化为生产力和产量。
可靠性： Brooks 的半导体产品采用最优质的钢材和合金、高性能数字电子设备和专利传感器设计，可提供数十年的准确、可重复的测量和控制，尤其是在与特殊工艺气体相互作用时。
重点： Brooks 对流量和压力测量和控制有着独特的关注，具有不断增长的服务能力和全球足迹，能够更快地响应仪器问题并为我们提供的半导体产品提供更好的生命周期支持。
支持：我们提供支持，在选择半导体产品时提供应用专业知识、定制计量配置、服务和帮助。
美国BROOKS流量计-液体和蒸汽产品