美国BROOKS流量计-XacTorr® 系列电容压力计
最大限度降低漂移和热效应。最大限度优化真空处理结果
型号 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
使真空依赖型工艺的效率和性能最大化：选择布鲁克斯仪器的 XacTorr® 系列数字式真空电容压力计。XacTorr® 系列设备同时拥有各种业内领先的功能技术，可提升测量可靠性、最大限度减少漂移、耐隔膜污染并能够使热效应最小化。
先进的 Mark-IV 传感器提供不用于压力测量的表面区域 – 可用于累积颗粒和可压缩蒸汽。因此减少了仪表重新调零的工作、延长了传感器寿命并且不会带来传感器漂移风险。此外，还有快速响应传感器可供选择，用于提供高级闭环控制性能。
结果：超精确、可重复并且高效的真空度测量，可确保每次对仓室压力进行抽真空时都能够准确使其达到工艺所需的目标 Torr 值以实现洁净、无污染生产。
美国BROOKS流量计-XacTorr® 系列电容压力计特点
适用于 0.10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围
有多种精度水平可供选择
Mark IV 专利传感器
数字化架构可实现超高精确度的宽动态范围操作
双区域温控功能可提高测量稳定性和可重现性
多段数字校准功能可提供高级窗口显示已知精度
智能触控式零点调节
可单独轻松访问的诊断维护端口
DeviceNet® 和模拟通信选件
美国BROOKS流量计-XacTorr® 系列电容压力计优势
漂移较低，能够为过程气体沉积提供极好的保护
无需使用手动电位计，不存在电子漂移
快速预热、闭阀温度控制并能够根据变化做出快速响应
多段校准功能可提供高级窗口显示已知精度以及对环境温度影响的实时补偿
如果压力过高或者未达到目标温度则无法调零
诊断端口允许用户在设备运行期间提供监视和数据采集功能，实现仓室和工具匹配以及“实时”高级故障排除
超导体制造
薄膜沉积工艺 – 玻璃、网格和光学涂层
冻干易腐材料
适用于医疗仪器的高科技涂层（手术仪器、牙钻等）