美国BROOKS流量计GF80 系列金属密封热质量流量控制器和仪表
提升价值驱动型金属密封应用的性能标准
型号 GF80
对于许多工业和半导体加工过程，性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术，该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度，同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量。
美国BROOKS流量计GF80特点
长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
1 秒内稳定
满量程流速高达 300 slpm
全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
通过有源温度补偿实现的一流温度系数规范
内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
带有 VCR 配件的细线体设计
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口
美国BROOKS流量计GF80优势
1 秒完成流量稳定，消除废气和过程变量影响
未采用会发生氧渗透并且使用一定时间之后需要进行更换的弹性体密封件
MultiFloTM 精简了过程气体切换操作 — 无需再拆除并重新校准 MFC
60 秒内即可完成新气体和/或量程的设定操作
测量精度不受温度变化影响
可轻松访问诊断端口以实现运行时间最大化
规格紧凑，可轻松集成至紧张的设备空间内；设备改型的绝佳选择
多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作
美国BROOKS流量计GF80应用
对翻新后的半导体加工工具中的原有 MFC 进行经济高效的改型/升级
减少六英寸/八英寸半导体工厂的 MFC 库存
用于 LED 和功率器件生产的 MOCVD
太阳能/薄膜化学气相沉积 (CVD) 系统
分析用 OEM 设备
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（膜厚控制仪、真空计/真空规、四极质谱仪、压强控制系统、氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、真空阀门），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。