美国BROOKS流量计金属密封热 MFC手册，金属密封热式质量流量控制器和仪表
最高纯度气路。超高精确，无污染的控制。
现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此，布鲁克斯仪器推出了自家的革命性金属密封热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性（无泄漏）的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度，该流路专为防止外部污染（如湿气和氧气）腐蚀过程媒介而设计。
金属密封热 MFC关键应用
硅材料半导体器件制造工艺 – 蚀刻、剥膜、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、植入和 RTP
化合物半导体器件加工工艺 – MOCVD
精密的表面涂层
分析系统
真空处理应用
选择最适合自身工艺需求的质量流量设备。
金属密封热 MFC产品
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型号 |
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GP100系列 |
美国BROOKS流量计GP80系列 |
美国BROOKS流量计5850EM系列 |
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产品类型 |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
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区别 |
EtherCAT Communication
High Purity/Ultra-High Purity
Embedded Diagnostics
Ultra-stable Flow Sensor
Improved Valve Shutdown
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High Purity/Ultra-High Purity
Standard GF Series
High Flow GF Series
Ultra-Fast Response Time
Pressure Transient Insensitivity
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High Purity |
Large installed base with proven long term performance |
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流量范围-满量程容量-液体 |
— |
— |
— |
— |
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密封材料 |
Metal |
Metal |
Metal |
Metal |
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纯净等级 |
5 - 10µ inch Ra |
4 - 10µ inch Ra |
16µ inch Ra |
316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel |
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精度 |
Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%
High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%
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±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35%
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±1% S.P. 35-100%
±0.35% F.S. < 5-35%
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1% F.S. incl. linearity
1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm
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重复性 |
< ±0.15% S.P. |
< ±0.15% S.P. |
< ±0.2% S.P. |
0.2% of rate |
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响应时间-常闭 |
Normally Closed Valve: 300 ms - < 1 sec
SDS Gas Delivery: < 3 sec
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Normally Closed Valve:
300 ms - < 700 ms
700 ms - < 1 sec
SDS Gas Delivery: < 3 sec
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Normally Closed Valve: <1 sec |
Normally Closed Valve: <3 sec
Optional: 600 msec
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瞬时压力波动不敏感 |
Specific models |
<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike |
— |
— |
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多气体多量程 |
MultiFlo™ Standard (most models) |
MultiFlo™ Standard (most models) |
MultiFlo™ Available |
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诊断能力 |
Available |
Available |
Available |
— |
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模拟通讯 |
— |
0-5 Vdc |
0-20 mA
4-20 mA
0-5 Vdc
0-10 Vdc
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4-20 mA
0-5 Vdc
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数字通讯 |
EtherCAT® |
DeviceNet™
RS485 L-Protocol
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DeviceNet™
Profibus®
RS485 S-Protocol
RS485 L-Protocol
RS485 A-Protocol (GF081)
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无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：美国mks流量计,美国BROOKS流量计金属密封热 MFC手册,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（膜厚控制仪、真空计/真空规、四极质谱仪、压强控制系统、氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、真空阀门），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。