美国mks流量计G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNet I/o。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定值做出快速、可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。

1、流速从5到50，000 sccm
2、氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或Kalrez的密封和阀塞选项
3、广泛选择数字(EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA) I/O
4、标准闭合电导泄漏率小于满量程的0.1%
5、小于750毫秒的建立时间

规范

特征

广泛的数字和模拟接口选择

GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速和可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。GE50A的模拟和数字I/O可轻松用于替换1179A MFCs的相同I/O类型。所有GE50As都包括Modbus作为可用的辅助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

标准3英寸尺寸

GE50A采用标准的3英寸尺寸，最常用于5 sccm至50 slm流速范围内的MFC，无需修改现有的气体管线配置即可使用。

所有金属浸湿表面

GE50A的设计采用了最少的弹性体。只有一个外部弹性体密封和弹性体阀塞。否则，所有润湿表面都是金属的。GE50A标配氟橡胶密封件，以及丁腈橡胶、氯丁橡胶、EPMD或Kalrez可选件，允许该装置用于需要这些替代件之一的气体

设定值准确度的百分比

对于20%至100%的全刻度流量范围，包括的数字校准产生1%的设定点精度，使用N2校准气体。设定点精度可实现精确的过程控制，相对于满量程精度而言。对于2%至20%满量程的质量流量，精度为满量程的0.2%。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。

专利热传感器

成熟的专利热传感器设计提供了卓越的零点稳定性。美国专利号5461913。

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