美国MKS2179A流量计商品描述
MKS-1179A MKS-1179B MKS-1559A
美国mks流量计属于工业自动化仪表，可用于各类气体监测与控制，种类繁多。质量流量计作为仪器可以单独销售，但更多的时候是作为一个部件为专业设备配套，所以质量流量计产品广泛地销售到半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业的生产线上。
适用流体：Air N2 Ar He H2 CO2 N2
流量范围：10sccm～20slm
控制精度：±1%F.S
最高耐压：980KPa
接口标准：1/4“ 特点： 8300更新机种
美国MKS2179A流量计特点
1、通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
2、通用的常闭型阀门确保了安全
3、使用电磁执行器保证了高效的可靠性
4、低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
美国MKS2179A流量计技术指标
F.S.量程
(N2换算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
阀门种类 常闭电磁阀
控制范围
应答性
精度
重复性 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
设定±2%F.S.至2秒以内（标准）
±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）
±0.5%F.S.以内
压力 耐压 980kPa
操作
差压 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
温度 使用温度 5°C-45°C
连接气体
部分材料 SUS316、氟橡胶、
氯丁橡胶（选购件）
电力连接 Dsub9个引脚公玡 KFC/SEMI
标准
输入流量信号 0-5VDC
输出流量信号 0-5VDC
需求电源供给 +15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA